Bratislava 13. marca (TASR) - Čisté priestory určené pre výskum a vývoj mikroelektronických súčiastok a pre výchovu študentov dnes otvorili v Elektrotechnickom ústave Slovenskej akadémie vied (ElÚ SAV) v Bratislave. Ide o klimatizované priestory s veľmi nízkou prašnosťou, stabilizovanou teplotou a vlhkosťou. Prostredie je porovnateľné s podmienkami pri výrobe elektronických súčiastok vo firmách ON Semiconductor a Samsung, informoval riaditeľ ElÚ SAV Karol Frölich.
Ako ďalej uviedol, tieto priestory sa skladajú z dvoch miestností s celkovou plochou 55 metrov štvorcových - z laboratória optickej litografie, t.j. z prípravy na tvarovanie mikroelektronických štruktúr a súčiastok, nanášanie špeciálnej polymérovej svetlocitlivej vrstvy, mokré tvarovanie a z technologického laboratória. Je v ňom zatiaľ unikátne technologické zariadenie - atómový silový mikroskop, ktorý sa používa na tvarovanie nanoelektronických štruktúr.
"Našim zámerom je doplniť technologické vybavenie čistých priestorov zo štrukturálnych fondov tak, aby sa v nich mikroelektronické súčiastky kompletne dokončili. Takto vybavené pracovisko by sa stalo zaujímavým pre elektronický priemysel na Slovensku a v Európe. Pracovisko bude vzdelávať študentov elektrotechnického zamerania, aby boli pripravení pracovať v elektronickom priemysle", povedal Frölich.
Pokiaľ ide o čistotu priestorov, podarilo sa dosiahnuť triedu 100 (US norma), 100 častíc - t.j.100 prachových častíc v jednej kubickej stope v porovnaní s plánovanou triedou 10 000 (US norma) - t.j.10 000 prachových častíc v jednej kubickej stope, konštatoval riaditeľ ElÚ SAV.
Elektrotechnický ústav SAV je súčasťou konzorcia Technologického inštitútu SAV (TI SAV), vďaka čomu všetky výskumné skupiny konzorcia združené v TI môžu využívať čisté priestory pre svoje potreby. Riaditeľ TI SAV Marián Janek informoval, že TI horizontálne združuje 10 ústavov SAV v oblasti prírodných, technických a biologických vied do kompetenčných centier s kapacitou viac ako 200 výskumných pracovníkov.
